LSD-85激光位移傳感器

一、項(xiàng)目介紹：

高精度激光位移傳感器是利用幾何三角原理，通過(guò)測(cè)量傳感器發(fā)射的激光光束，被被測(cè)物體表面反射回來(lái)，在傳感器內(nèi)部的PSD（光敏位置器件）或線陣CCD上的成像位置來(lái)計(jì)算目標(biāo)物距離的探測(cè)系統(tǒng)。 激光位移傳感器主要用于短距離、高精度測(cè)量，其系統(tǒng)測(cè)量精度可達(dá)1um，分辨率0.1um，滿量程線性度0.1%。激光位移傳感器可對(duì)被測(cè)量物體的位置、位移等變化實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，其主要應(yīng)用于檢測(cè)物的位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等幾何量的測(cè)量。

目前相關(guān)產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)完全被歐美日等西方發(fā)達(dá)國(guó)家壟斷。國(guó)內(nèi)少數(shù)科研院所能制作其中部分關(guān)鍵部件但技術(shù)指標(biāo)與國(guó)外產(chǎn)品相比較有一定差距且成本高昂，產(chǎn)品批量生產(chǎn)工藝欠缺。國(guó)內(nèi)尚無(wú)企業(yè)擁有此類(lèi)產(chǎn)品從核心光敏器件、激光源光學(xué)系統(tǒng)、微小電信號(hào)處理到軟件優(yōu)化的成套完整的技術(shù)及產(chǎn)品。

二、LSD-85激光位移傳感器技術(shù)來(lái)源：自主研發(fā)制造

 1. 核心光敏器件， PSD（光敏位置器件）和線陣CCD由我方技術(shù)人員與美方技術(shù)合作。研發(fā)及小批量生產(chǎn)在美國(guó)進(jìn)行，資金及生產(chǎn)設(shè)備允許的情況下，轉(zhuǎn)移到國(guó)內(nèi)生產(chǎn)。產(chǎn)品**及核心技術(shù)由我方擁有。產(chǎn)品功能特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)：高靈敏度，小暗電流，抗強(qiáng)光干擾性能良好。

2. 激光源光學(xué)系統(tǒng)、微小電信號(hào)處理及軟件優(yōu)化，在國(guó)內(nèi)開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)。

3. 產(chǎn)品整體研發(fā)，調(diào)試及生產(chǎn)組裝在國(guó)內(nèi)進(jìn)行。

三、LSD-85激光位移傳感器生產(chǎn)工藝：

光敏位置器件（PSD）生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)介：

首先未摻雜（i型）的硅片經(jīng)清洗放置于擴(kuò)散爐內(nèi)，經(jīng)擴(kuò)散在正反表面形成n型層。把背面的n型層用光刻膠保護(hù)起來(lái)然后將正面的n型層腐蝕掉。去掉光刻膠。 在背面沉積一層氮化硅。將樣品